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全自动晶体生长炉
TDR100B-ZJS
设备参数
拉制晶棒直径(Ingot Diameter):8”-10”
装料量(Charge Amount):120-150kg
热场规格(Hot Zone Size):22”-24”
炉体高度(Maximum Height):6.40m
极限真空(Uitimate Vacuum):≦30mtorr
泄露率(Leakage Rate):≦40mtorr/h
可控压力范围(Controllable Pressure Scope):10-50Torr
晶体行程(Seed Travel):2900mm
晶体慢速(Seed Lift Rate):0~8mm/min
晶体快递(Fast Seed Lift Rate):≧600mm/min
晶体旋转(Seed Rotation):0~48rpm
坩埚行程(Crucibile Travel):460mm
坩埚慢速(Crucible Lift Rate):0~4mm/min
坩埚快递(Fast Crucible Lift Rate):≧150mm/min
坩埚旋转(Crucible Rotation):0~20rpm
 
电源(Electrical)
容量(Capacity):260KVA(含底部电源)
供电电源(Power Supply):380V±10%,50/60Hz

冷却水(Coolant Water)
流量(Flow Rate):≥280L/min
进水压力(Pressure):2.0-3.0bar
进水温度(Temperature):25±2℃

氩气(Argon)
压力(Pressure):3.5~5bar
流量(Flow Rate):60~80L/min

压缩空气(Compressed Air)
压力(Pressure):5~9bar
消耗量(Consumption):80L/炉次
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