EN 投资者关系
首页 > 资讯 > 公司动态
晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶
发布时间:2021-07-22 信息来源: 浏览次数:2987




        7月20日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后,又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展,为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。


        研发团队积极总结8英寸硬轴炉的研发试制经验,经过近一年的持续攻关,在巩固原有技术的基础上,解决了硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题,实现了高稳定性晶体生长环境,为12英寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性提高提供了技术支撑。

        晶盛机电依托两项国家科技重大02专项课题(“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),15年专注于半导体硅单晶生长装备研发,相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术。公司不忘“打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业”的使命,在高端半导体装备领域持续攻关,为核心装备国产化赋能。
联系我们
jsjd@jsjd.cc 0575-82001901 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
浙江晶盛机电股份有限公司版权所有

浙公网安备 33060402000390号

浙ICP备11013988号-1 CopyRight 2017 All Right Reseved 网站建设翰臣科技
版权所有浙江晶盛机电股份有限公司
浙ICP备11013988号-1
浙公网安备 33060402000390号
CopyRight 2017 All Right Reseved Design By:Hansun