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晶盛机电首台硬轴直拉炉成功生长出8英寸硅单晶
发布时间:2020-08-24 信息来源: 浏览次数:7123


 

       8月23日,晶盛机电晶体实验室采用硬轴直拉硅单晶炉生长出直径8英寸硅单晶,这是国内首台硬轴直拉炉生长出的首颗8英寸晶体。该晶体的成功生长,是我国在半导体级硅单晶生长装备领域的重大突破,进一步巩固了公司晶体生长装备技术的核心竞争力。

 

       晶盛机电专注于半导体硅单晶生长装备研发,从2006年开发出第一代硅单晶炉开始,先后开发出TDR85、TDR95、TDR110、TDR130等多款满足直径6-12英寸硅单晶生长装备。又相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项先进技术,先后主持两项国家科技重大02专项课题(“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),是目前行业内产品种类齐全、技术领先的硅单晶炉制造企业。

 

       随着国内集成电路产业技术发展,提高单晶材料内在品质越来越重要。传统直拉硅单晶炉采用钨合金缆绳作为晶体提拉和旋转动作的传动轴,业内统称为软轴。本次晶盛机电开发的硬轴技术,克服了软轴使用过程中晶体在高晶转下易晃动,可以有效改善晶体径向均匀性。晶盛研发团队在开发过程中解决了轴动密封、抗震动、轴水冷、气流场等诸多技术难题。此次首颗晶体的成功面世,是晶盛研发团队在“打造半导体材料装备领先企业”使命引领下,又一个扛鼎之作。

 

       硅晶圆作为微电子产业最重要的原材料仍严重依赖进口,半导体产业从装备到材料的国产化成为国内半导体人的使命。晶盛机电此次硬轴直拉炉的研制成功,为国内大硅片行业提供了装备保障。2021年公司将推出12英寸硬轴直拉硅单晶炉面向市场,为国产大尺寸硅片产业腾飞助力。

 

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