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连续承担两项国家科技重大专项
 

      凭借公司雄厚的研发实力,在2009年、2011年连续承担两项国家科技重大专项“极大规模集成电路制造设备及成套工艺”的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”课题。

 

      截至目前,通过该课题的实施,已在公司生产的区熔硅单晶炉上成功拉制出国内首根 8 英寸区熔硅单晶棒,验证了公司自主研制的区熔硅单晶炉技术取得了突破性进展,相关设备获得了 26 项国家专利,其中炉内晶体剪除机构、多 CCD成像和辅助加热等技术为国际首创,课题产品已成功产业化并形成销售,取得了良好的社会、经济效益,产业化前景优势明显。

 

      该课题的实施,有效地打破了国外大直径区熔硅单晶炉的技术垄断,缩小了我国区熔单晶硅材料制造技术与国际先进水平的差距,体现了公司的研发实力,有利于公司立足晶体生长与智能化加工装备的主业,推动“新材料、新装备”发展战略全面实施。

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