EN 投资者关系
首页 > 方案 > 经典案例
全自动单晶硅生长炉
 

       2011年,公司承担国家科技重大02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题,现已进入规模化生产销售阶段。 

 

      在公司首台80A型全自动单晶炉实现多项国内首创技术的基础上,公司后续又研制成功了国内首台300kg投料量、可生长12英寸半导体级单晶硅棒、整机性能要求更高的130A大型单晶炉和100B重掺型半导体级单晶炉。其生长的硅单晶棒的等径精度、均匀性、电阻率、体缺陷、无位错等主要性能,可满足大规模集成电路90~65nm线宽的高要求,远远领先于国内同行,达到国际同类产品的先进水平。

 

      2007年4月,自主研制成功国内首台全自动单晶硅生长炉。打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局,填补了国内空白。


联系我们
jsjd@jsjd.cc 0575-82001901 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
浙江晶盛机电股份有限公司版权所有

浙公网安备 33060402000390号

浙ICP备11013988号-1 CopyRight 2017 All Right Reseved 网站建设翰臣科技
版权所有浙江晶盛机电股份有限公司
浙ICP备11013988号-1
浙公网安备 33060402000390号
CopyRight 2017 All Right Reseved Design By:Hansun