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全自动单晶硅生长炉
 

      自上世纪六十年代以来,硅单晶材料被广泛应用于半导体领域,是现代电子信息技术中占比85%的基材,也是太阳能光伏硅电池的重要材料。直拉式单晶硅生长炉是硅单晶制备领域重要而高效的设备。

 

      差异化的产品,是后来者居上的法宝。我国研制国产单晶硅生长炉虽有40多年历史,但是,在2007年之前,国内企业生产的单晶炉都为半自动控制,无法满足半导体硅单晶生长的高性能需求。为此,国内IC行业只得从美国、德国等国家进口全自动单晶硅生长炉设备。但是,进口设备价格昂贵,售后服务不及时,运行成本高。 

 

      在公司首台80A型全自动单晶炉实现多项国内首创技术的基础上,公司后续又研制成功了国内首台300kg投料量、可生长12英寸半导体级单晶硅棒、整机性能要求更高的130A大型单晶炉和100B重掺型半导体级单晶炉。其生长的硅单晶棒的等径精度、均匀性、电阻率、体缺陷、无位错等主要性能,可满足大规模集成电路90~65nm线宽的高要求,远远领先于国内同行,达到国际同类产品的先进水平。

 

      晶盛机电研发团队决心不走同行的老路,要自主研制高起点的差异化产品——国产全自动控制单晶硅生长炉。在调研国内外技术的基础上,结合半导体硅单晶生长工艺,以研发单晶炉全自动控制系统为突破口,进行单晶炉整机研制。在有研硅股等半导体材料公司的支持下,历经艰辛,终于在2007年4月,自主研制成功国内首台全自动单晶硅生长炉。打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局,填补了国内空白。


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